생물현미경

'산업 현장의 눈' 차세대 전자현미경 한일 공동연구 / YTN 사이언스

페이지 정보

작성자 YTN 사이언스 작성일16-11-28 00:00 조회52회 댓글0건

본문



[앵커]
우리나라와 일본이 손을 잡고 주사전자현미경 공동연구를 시작했습니다.

전자현미경 기본 성능 향상은 물론 반도체 분야 등 산업 전반에 많은 도움을 줄 것으로 기대됩니다.

이정우 기자입니다.

[기자]
반도체 공정에 필요한 주사전자현미경.

문제는 높은 에너지 조건에서 관찰하면 물성이 변하거나 파괴된다는 점입니다.

이 같은 문제 해결을 위해 국내 연구진과 주사전자현미경 세계 1위 기업인 일본 히타치하이테크놀로지즈, HHT가 '차세대 전자현미경' 국제 공동연구에 합의했습니다.

[조복래 / 표준과학연구원 첨단측정장비센터장 : 모노크로미터 (레이저 등 전자빔을 하나의 색으로 만드는 방법) 기술을 적용하면 에너지 폭이 줄어들고 이에 따라 전자현미경의 낮은 분해능이 좋아지고 앞으로 반도체의 관찰이나 나노물질의 획기적인 분해능이 기대됩니다.]

지난 2015년 HHT 지원으로 시작한 '전자빔 모노크로미터' 기초연구가 기술력을 인정받아 해당 장비를 HHT 주사전자현미경에 장착하는 공동연구를 시작하는 겁니다.

전자빔 모노크로미터는 레이저와 같이 전자빔을 단색으로 만드는 기술로서 나노 물질의 관찰과 분석, 반도체 검사 등에 사용됩니다.

[오카와 타가시 / 표준과학연구원 첨단측정장비센터 선임연구원 : 표준연의 전자빔을 단색화시키는 원천기술하고 히타치의 최첨단 제품기술을 합침으로써 반도체를 관찰하는 전자현미경 성능을 획기적으로 향상시킬 수 있는 기술이 기대되고 있습니다.]

시료 표면을 관찰하는 주사전자현미경과 시료 내부를 보는 투과전자현미경으로 나뉘는 전자현미경.

전자현미경 시장의 63%를 차지하는 주사전자현미경은 주로 생물학이나 반도체, 재료과학 분야에서 물체의 미세구조 관찰이나 정밀측정 시 사용됩니다.

[윤동진 / 표준과학연구원 산업측정표준본부장 : 기술들은 히타치의 주요 장비에 적용되어 전 세계에 보급되고 그로 인해 표준과학연구원에 기술이전이나 기술료를 받게 되는 그런 큰 기대효과도 기대할 수 있습니다.]

이번 공동연구는 전자현미경의 성능을 한 단계 끌어올려 신재료와 반도체 장치, 새로운 생명현상 연구 등 다양한 분야에서 폭넓게 활용될 전망입니다.

YTN 이정우[ljwwow@ytn.co.kr]입니다.

[YTN 사이언스 기사원문] http://www.ytnscience.co.kr/program/program_view.php?s_mcd=0082\u0026s_hcd=\u0026key=201611291046068084

댓글목록

등록된 댓글이 없습니다.

Total 7,643건 9 페이지
게시물 검색
Copyright © www.dapafair.kr. All rights reserved.  연락처 : help@ggemtv.com